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1、美國MKS流量控制閥248D介紹
上游流量控制閥是比例控制閥，設計用于精確控制過程中上游的氣流。148J全金屬控制閥最大限度地減少了顆粒的產生并減少了殘留污染物的逸氣，否則可能導致設備故障和產量下降。使用保證外部泄漏率小于1 x 10-10 atm cc/sec(He)的金屬密封件以避免污染和腐蝕。148高溫閥可在150°C的過程溫度下運行。248D控制閥是一種改進型電磁閥，在提供控制電流時將調節氣體流量。當與MKS控制器和適當的流量傳感器一起使用時，248D閥門可調節氣體流量，同時保持準確和精確的壓力或流量。
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2、美國MKS流量控制閥248D特性
隨著施加到螺線管的電流不斷增加，連接到電樞的閥座被提升遠離可調節節流孔。兩個螺旋彈簧使電樞在閥體內居中并抵抗磁升力。這些彈簧最大限度地減少了摩擦和遲滯，這是導致控制性能不佳的主要原因。通過1249控制閥驅動器提供操作電磁閥所需的驅動信號，248D閥可用于壓力或流量控制。248D閥門的節流孔無需特殊工具即可輕松調節或更換。可能需要進行調整以消除因正常操作磨損而導致的閥門泄漏。當磨損過度或改變閥門的流量范圍時需要更換。
3、美國MKS流量控制閥248D特征
①無需特殊工具即可輕松調整或更換
②調節氣體流量，同時保持精確的壓力或流量
③316 SS、鎳、埃爾吉洛伊合金、KM45、特氟龍
④10至30,000 sccm滿量程流量范圍
⑤4 VCR®外螺紋接頭
⑥可烘烤至150°C
4、美國MKS流量控制閥248D規格
①類型：248D流量控制閥
②滿量程流量范圍：10-50,000標準立方厘米
③最小可控流量：0.2%滿量程(小于100 sccm)；0.1%滿量程(100至10,000 sccm)；小于2%滿量程(大于10,000 sccm)
④閉合電導泄漏：小于1×10-5 scc/sec He（最高10,000 sccm）；小于1%滿量程(大于10,000 sccm)（15 psid至atm）
⑤暴露的材料：標準：316 SS、鎳、Viton®；可選：Buna-N、Kalrez®、Neoprene®
⑥密封材料：Viton、氯丁橡膠、Buna-N或Kalrez
⑦配件類型標準：0.25英寸Swagelok®；可選：4 VCR或4 VCO®外螺紋
⑧工作溫度：-10至60°
5、美國MKS流量控制閥248D產品說明
MKS提供上游氣流控制閥，可與適當的MKS控制器和壓力傳感閥連接，通過調節進入腔室的氣流來控制腔室壓力。提供傳統的閥門/控制器和完全集成的閥門/控制器配置。傳統的上游閥門和閥門控制器組合包括基線248D流量控制閥、148J全金屬控制閥和154B高流量閥，可使用MKS 651和1651壓力控制器進行控制。這些閥門可以使用1249電磁控制閥驅動器進行控制。控制閥驅動器旨在與PC、PLC或其他控制器一起使用，這些控制器提供必要的PID控制功能，但不具備驅動流量控制閥所需的電流輸出。
6、美國MKS流量控制閥248D其他型號介紹
MKS提供用于閉環電子壓力控制的集成上游壓力閥和控制器。這些是獨立的緊湊型閉環電子控制系統，用于上游或下游壓力控制。MKS的640B和641B絕對壓力和表壓控制器包含Baratron電容壓力計、常閉比例控制閥和閉環控制電子設備。這些控制器中的壓力輸出和輸入控制信號為線性0-5 VOC或0-10 VDC。640/641中包含兩個跳閘點，并帶有LED狀態指示燈，可用作簡單的開/關過程限制。640和641壓力控制器可與單通道或四通道電源/讀數器連接。除了單區集成壓力控制器外，MKS還提供DPC雙區壓力控制器，該控制器集成了入口氣動截止閥、兩個帶質量流量計量的獨立壓力控制通道和一個真空出口。這樣做的目的是降低用于背面晶圓冷卻的壓力控制子系統的總體擁有成本，特別是對于最新的兩區靜電吸盤。
MKS還提供πPC系列PC90集成閉環壓力控制器和PC99集成閉環壓力控制器（包括質量流量計）。πPC壓力控制器以支持網絡的格式提供數字控制。它是一種獨立、緊湊、閉環電子壓力控制系統，專為各種壓力和流量條件而設計。它包含Baratron電容壓力計、常閉或常開控制閥以及閉環控制電子設備。πPC可采用上游或下游壓力控制配置，使其非常適合控制工藝室背壓或工藝氣體輸送壓力。憑借數字（DeviceNet或RS-485）或模擬I/O及其以太網設置/診斷功能，πPC可以輕松集成到大多數處理工具中。πPC壓力控制器是一個完整、緊湊的壓力控制套件，可最大限度地降低成本和空間要求。MKS提供多種不同型號的真空/壓力開關，用于準確可靠地保護真空設備、大氣切換和真空/壓力過程。這些開關專為不需要直流信號輸出的應用而設計，提供繼電器輸出，可輕松與警報器、閥門執行器、計算機、過程控制器、負載鎖和其他保護設備連接。
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