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1、美國MKS控制閥產品介紹
上游流量控制閥是比例控制閥，設計用于精確控制過程上游的氣體流量。248D控制閥是一種改進的電磁閥，當提供控制電流時將調節氣體流量。當與MKS控制器和適當的流量傳感器一起使用時，248D閥門可調節氣體流量，同時保持準確和精確的壓力或流量。148J全金屬控制閥可最大程度地減少顆粒產生并減少可能導致設備故障和產量下降的殘留污染物的釋氣。為了避免污染和腐蝕，使用了保證外部泄漏率小于1 x 10-10 atm cc/sec(He)的金屬密封件。148高溫閥可在150°C的過程溫度下運行。
2、美國MKS控制閥產品特征
與其他高流量控制閥相比，MKS 248D閥門提供更好的響應時間。這可以通過使用“平衡力”設計來自動抵消閥門內的壓力引起的不平衡。彈性體密封的154閥門設計用于0.2至200 slm的流量。無需特殊工具即可輕松調節或更換248D閥門的孔口。可能需要進行調整以消除由于正常運行磨損導致的閥門泄漏。當磨損過度或改變閥門的流量范圍時需要更換。無需特殊工具即可輕松調整或更換，調節氣體流量，同時保持精確的壓力或流量。
3、美國MKS控制閥產品優勢
隨著增加的電流施加到螺線管上，連接到電樞的閥座被抬離可調孔。兩個螺旋彈簧使閥體內的電樞居中并抵抗磁性提升力。這些彈簧最大限度地減少摩擦和滯后，產品特點是控制性能不佳的主要原因。通過1249控制閥驅動器提供操作電磁閥所需的驅動信號，248D閥可用于壓力或流量控制。
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4、美國MKS控制閥產品技術數據
①類型：148J全金屬流量控制閥
②滿量程：流量范圍10-30,000立方厘米
③最小可控流量：小于2%滿量程
④閉合電導泄漏：小于1%滿量程（15 psid到atm）
⑤暴露材料：316 SS、鎳、Elgiloy、KM45、鐵氟龍
⑥密封材料：金屬
⑦配件類型：4 VCR®公頭
⑧工作溫度：15至50°C
5、美國MKS控制閥產品功能
①316 SS、鎳、Elgiloy、KM45、鐵氟龍
②10至30,000 sccm滿量程流量范圍
③4 VCR®外螺紋接頭
④可烘烤至150°C
6、美國MKS控制閥產品部分型號
①美國MKS控制閥0248D-00010RK
②美國MKS控制閥0248D-00010RV
③美國MKS控制閥0248D-00010SV
④美國MKS控制閥0248D-00050RV
⑤美國MKS控制閥0248D-00050SV
⑥美國MKS控制閥0248D-00100RK
⑦美國MKS控制閥0248D-00100RV
⑧美國MKS控制閥0248D-00100SN
⑨美國MKS控制閥0248D-00100SV
⑩美國MKS控制閥0248D-00500RV
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?美國MKS控制閥0248D-10000RV
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